结构及原理
　　硅微型泵主要由压电泵膜、 泵腔于进出口阀组成，其结构如图所示。压电泵膜在外加电压的作用下产生形变，泵腔内的体积会随之发生变化，从而将流体从入口阀泵入，从出口阀泵出，完成流体的输送过程。

技术指标

微量输送
　　用于精确、微量、安全可靠地输送特殊药物，如肝素、胰岛素、麻醉剂、血液、营养剂、荷尔蒙等，以提高药物的疗效和减小药物产生的副作用，实现药物输送的微型化和小型化。可形成微型输液泵、 微型注射泵、 微型镇痛泵产品（可用于术镇痛、 无痛分娩、 癌症镇痛），并可开发响应的微泵治疗系统（如糖尿病治疗重的胰岛素泵，以恒定的速率来注射微小剂量的胰岛素来维持病人的血糖浓度，以保证病人的生命安全）。

微量采样
　　用于输液设备分析仪的微量采样、环境（污水等）实时检测的精密取样、化学分析前的进样等，其优点是微量、 精确、 体积小，易于集成

微型喷射模块
　　可形成微型燃油喷射系统，该系统主要利用微泵技术将燃油雾化为微小油滴，在汽油引擎系统的适当位置进行喷射，以提升汽油引擎系统之燃烧效率和降低燃烧的污染排放。

微型制冷系统
　　 利用硅微型微泵、微沟道循环系统、散热片、风扇可制造微型集成化的致冷系统。该体统具有体积小、价格低、性能稳定可靠等优点，可应用于微小空间的热量管理，在激光技术、食品加工、生物制药、IT等行业具有广泛的应用前景。